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什么是质量流量控制器?
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质量流量计以科氏力为基础,在传感器内部有两根平行的流量管,中部装有驱动线圈,两端装有检测线圈,变送器提供的激励电压加到驱动线...
      

什么是质量流量控制器?

 

1.什么是质量流量计?什么是质量流量控制器?

     大家可能会经常看到,有些地方说质量流量计,有些地方说质量流量控制器。其实,这是有区别的。

      质量流量计,即Mass Flow Meter(MFM ), 是一种******测量气体流量的仪表,其测量值不因温度或压力的波动而失准,不需要温度压力补偿。

      质量流量控制器, 即Mass Flow Controller (MFC ),不但具有质量流量计的功能,更重要的是,它能自动控制气体流量,即用户可根据需要进行流量设定,MFC自动地将流量恒定在设定值上,即使系统压力有波动或环境温度有变化,也不会使其偏离设定值。质量流量控制器就是一个稳流装置,是一个可以手动设定或与计算机联接自动控制的气体稳流装置。

      简单来说,质量流量计只测量不控制。而质量流量控制器,则带有控制阀门,既可以测量也可以控制气体流量大小。

 

2.怎么理解质量流量计 / 质量流量控制器的流量单位?

      气体质量流量单位一般以SCCM(Standard Cubic Centimeter per Minute,每分钟标准毫升)和SLM(Standard Liter per Minute,每分钟标准升)来表示。这意味着,这种仪表在不同的使用条件下,指示的流量均是标准状态下的流量。这是这种仪表和其它流量计的重要区别,也是SCCM﹑SLM 不同于mL/min﹑L/min 之处。      

      对多数用户而言,体积流量的表示方法很符合习惯﹑便于使用,但也有用户需要知道单位 时间内流过介质的质量(如g/min),这个要求是很容易实现的。因为标准状态下的气体密度是一个常数,可以方便地查到,因而简单地做一个乘法(以密度乘以若干SLM)即可实现。所以说,在标准状态下的体积流量就等同于质量流量。