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MFC使用须知
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MFC使用须知1 注意阅读产品说明书及有关资料2 注意系统设计 用户购买MFM/MFC 后,往往要组建一个系统。建议在系统设计时,不要仅仅...

MFC使用须知

 

1 注意阅读产品说明书及有关资料

 

2 注意系统设计

      用户购买MFM/MFC 后,往往要组建一个系统。建议在系统设计时,不要仅仅考虑功能的实现,还要考虑系统的******性﹑安全性﹑易操作性﹑易维护性﹑易扩充性等因素。以下给出几点具体建议:

A. 对于反应系统,建议在MFC 的出气端加装单向阀,以防止异常情况下反应物倒流损坏 MFC 。

B. 对于高压系统,应在MFC  的下游加装背压阀(或其它节流装置)及压力表,以便于******MFC的工作压差。

C. 注意加装过滤器,以净化气源,延长MFM/MFC 的使用寿命。

D. 对于硅烷这样的遇空气易形成结晶的气体,应特别注意系统的密闭性(检漏时不要忽视减压 器),必要时设计吹洗旁路,随时进行氮气吹洗或正压保持。

E. 有高频源的系统应注意屏蔽并特别注意处理好接地问题,例如采用单点接地。

F. 对于高真空系统,注意气路接头尽量减少并采用VCR 等接头。

G. MFM/MFC 的安装位置应易于装卸﹑检测﹑调零,并安全******。

H. 对******性要求极高的系统,应注意冗余设计。

 

3 注意正确使用操作

      对于比较复杂的系统或使用特殊气体的系统,应当建立自己的操作规程。

 

4 注意轻拿轻放妥善保管

      MFM/MFC 非常精密,应避免受到撞击和振动。产品不用时注意放在较好的环境中妥善保管。

 

5 注意定期标定

      原则上应当定期标定。

 

6 注意使用气体与流量计的密封材料相适应

      我厂生产的流量计通常采用的密封材料是氟橡胶,能适合大多数气体的使用,包括HCL 这样的强腐蚀性气体。但对于氨气,必须使用耐氨橡胶;对于有机溶剂类气体,如丙酮、甲苯等,必须使用硅橡胶;对于使用三氯化硼、三溴化硼等强腐蚀性介质,必须使用四氟密封或金属密封的流量计。用户在订货和使用中必须特别注意。

 

7 注意******MFC 的工作压差

      即******MFC 进气端和出气端的压力差在其指标范围之内。常压系统好******,一般只要使用减压器即可;高压系统中一般要通过减压器和背压阀的结合使用来******


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