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CS200型气体质量流量控制器
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一. 功能概述: CS200-A,C,D 型产品是七星流量计采用******的数字技术研发的产品。在传感器的驱动,零 点漂移的控制和阀控等诸多方面...
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一. 功能概述:

      CS200-A,C,D 型产品是七星流量计采用******的数字技术研发的产品。在传感器的驱动,零 点漂移的控制和阀控等诸多方面都采用了独特的技术,******了产品的高性能、高品质和高******性。
二. 控制方式
      CS200-A,C,D 型产品兼容数字模拟控制方式,客户可以根据需要选择控制信号方式,产品支 持数字控制,0~5V 电压控制和 4~20mA 或 0~20mA 电流控制。当客户选择了其中一种控制信 号,其他两种控制信号将被系统自动屏蔽。而流量检测信号则通过数字方式,0~5V 电压和 4~ 20mA 或 0~20mA 电流同时送出,互不影响。更多细节请参考产品附带光盘中的“CS 系列 MFC 通讯协议”

三. 标定

       CS200-A,C,D MFC/MFM 可以按照用户的要求来标定。如果用户没有说明工作情况等信息, 则按照标准状况标定。 1.6.1 标准状况 出口压力:大气压 气体质量流量通常用标准状态下的体积流量来表示,质量流量单位为: SCCM:标准毫升/分钟 SLM:标准升/分钟 标准状态:温度 0Cº  (273.15K) 气压:101325Pa  (760mm Hg)  在标准状态下,气体的密度是一个常数,该密度乘以标准状态下的体积就是质量数,所以标 准状态下的体积流量就等同于质量流量。 MFC/MFM 的标准安装位置为水平安装,同时为客户提供垂直(进气口向上或向下)、平躺 及其它位置的安装,为******测量精度,用户购买时应该说明设备的安装方式。

四. 制造环境
       CS200-A,C,D 型 MFC/ MFM 是在温度为 22±2℃的 100 级的净化间内组装,1000 级净化环境 下标定及包装。 1.6.3 四.精度调节
CS200-A,C,D 型 MFC/MFM 在制造完成后都要在相应的标定台上烤机 24 小时,然后进行精 确标定。精度、动态响应、压力变化的稳定性等指标须经过两次检查,合格后方可出厂。 

五.参数

CS200
型号 CS200-A CS200-C CS200-D
 
阀类型
常开(流量规格≤30SLM) 或常闭  
常开或常闭  
 
常开或常闭
 
流量规格(N2) (0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM
(0~1,2,3,5,10,20,30,50) SLM
(0~2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500)  SCCM
(0~1,2,3,5,10,20,30) SLM
******度 ±1.0% S.P. (≥35% F.S.)
±0.35% F.S.(<35% F.S.)
线性 ±0.5% F.S.
重复精度 ±0.2% F.S.
响应时间 ≤ 1sec ≤ 0.8sec
 
工作压差范围
0.05~0.35MPa 流量规格≤10SLM
0.1~0.35MPa  10<流量规格≤30SLM
0.2~0.45MPa  30<流量规格≤50SLM
 
<0.02 MPa
0.05 ~ 0.35MPa 流量
规格≤10SLM
0.1~0.35MPa 流 量规格>10SLM
 
<0.02 MPa
0.05~0.35MPa 流量规
格≤10SLM
0.1~0.35MPa 流量规格>10SLM
 
<0.02 MPa
 
温度系数
零点: ≤±0.05% F.S/℃;
调节时: ≤±0.1% F.S/℃  流量规格≤30SLM
调节时: ≤±0.2% F.S/℃  流量规格>30SLM
 
零点: ≤±0.02% F.S/℃;调节时: ≤±0.05% F.S/℃
耐压 3MPa
漏率 1×10-10 Pa·m3 / sec He 1×10-11 Pa·m3 / sec He
密封材料 氟橡胶; 金属密封
工作环境温度 (5~45)℃ (0~50)℃
 
 
 
输入信号
 
 
数字: RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus 模拟:(0~5)VDC 或(4~20)mA 或(0~20)mA
 
 
 
数字: RS485 或DeviceNet
或 ProfiBus 模拟:(0~5)VDC
或(4~20)mA 或(0~20)mA
 
 
 
数字: RS485 或DeviceNet
或 ProfiBus
模拟:(0~5)VDC 或(4~20)mA
或(0~20)mA
 
 
 
 
输出信号
数字:RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus  模拟:(0~5)VDC 或(4~20)mA 或(0~20)mA
零漂 在没有零点校正时<0.6%F.S/年
电源 ±8 ~ ±16 VDC (双极)或 +14 ~ +28 VDC (单极)
表面化学成分  
常态
Cr/Fe 比例 ≥2.0, CrO 厚度 ≥
20 (埃)
 
常态
表面粗糙度 25 Ra 10 Ra 25 Ra
 
标准接头形式
双卡套 φ6;双卡套 1/4´´;双卡套 3/8´´;VCR1/4´´阳接头;双卡套φ3;
双卡套 1/8´´;VCO 1/4";φ6(内)x1 软管接头; φ5(内)x1.5 软管接头; φ4(内)x1 软管接头;双卡套φ10mm;A 型密封接头;
 
双卡套φ3;双卡套φ6;双卡套 1/4;VCR1/4 阳接头; 1.5´´C 型密封接头;1.5´´ W 型密封接头
电源接头形式 D 型 9 针阳接头;D 型 15 针阳接头;DeviceNet 接头; ProfiBus 接头;模拟接头
重量 1 Kg 0.8Kg 1.2Kg 1Kg 1.2Kg 1Kg

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