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D07-9E系列质量流量控制器
更新时间:
D07 系列质量流量控制器和质量流量计具有精度高、重复性好、响应速度快、软启动、稳定******、工作压力范围宽等特点(可以在高压或真空条件下...
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D07 系列质量流量控制器和质量流量计具有精度高、重复性好、响应速度快、软启动、稳定******、工作压力范围宽等特点(可以在高压或真空条件下工作), 采用国际标准接头, 其操作使用方便, 可任意位置安装,  并便于与计算机连接实现自动控制。
 
 D07-9E 型 MFC 性能指标
编号 项 目 D07-9E 型
1 流量规格 ( 0~20,30,50,100,150,200,250) SLM
2 ******度 ±2 % F.S
3 线性 ±1 % F.S
4 重复精度 ±0.2 % F.S
5 响应时间 (1 ~ 4) sec
 
6
 
工作压差范围
20 , 30 SLM: (0.05 ~ 0.30) MPa (7.3~43.5 psid)
50,150 SLM: (0.10 ~ 0.30) MPa (14.5~43.5 psid)
200,250 SLM: (0.15 ~ 0.30) MPa (21.8~43.5 psid)
7 耐压 3 MPa (435.1 psig)
8 工作环境温度 5  ℃ ~ 45 ℃
9 输入输出信号 0 V ~ +5.00 V
(输入阻抗大于 100K, 输出电流不大于 3mA)
10 电源 +15 V 50 mA
-15V 400 mA
11 外形尺寸 167*45*140
12 重量 2.6 kg
 
 
 
 
 
 
 
 
 

D07-9EM  型性能指标
编号 项 目 D07-9EM 型
1 流量规格 ( 0~20,30,50,100,150,200,250) SLM
2 ******度 ±2 % F.S
3 线性 ±1 % F.S
4 重复精度 ±0.2 % F.S
5 响应时间 1~4 sec
6 气压降 20~100SLM: <0.02 MPa (2.9 psid); >100SLM: <0.05 MPa (7.3 psid)
7 耐压 3 MPa  (435.1 psig)
8 工作环境温度 5  ℃ ~ 45 ℃
9 输出信号 0 V ~ +5.00 V
(输入阻抗大于 100K, 输出电流不大于 3mA)
10 电源 +15 V 50 mA
-15 V 50 mA
11 外形尺寸 142*45*140
12 重量 1.5 kg
 
各型号产品的主要技术指标见表 1 和表 2。其中 9EM 型是 9E 型的流量测量部分,流量计量部分的技术指标相同。

质量流量计和质量流量控制器出厂通常用氮气(N2)标定质量流量的单位规定为: SCCM (标准毫升/分);
SLM (标准升/分)
标准状态规定为: 温度 --- 273.15K ( 0℃ );
气压  101325 Pa (760mm Hg)
F.S (Full Scale): 满量程值